隨著(zhù)工業(yè)化生產(chǎn)環(huán)境對潔凈度的要求不斷提高,激光塵埃粒子計數器技術(shù)得到了快速蓬勃的發(fā)展。從軍工領(lǐng)域邁進(jìn)民用,從技術(shù)滲透進(jìn)社會(huì )各個(gè)層面,以激光塵埃粒子計數器為代表的潔凈技術(shù)正在逐步提高人類(lèi)社會(huì )的生產(chǎn)能力、改善人類(lèi)的居住環(huán)境。在半導體制造業(yè)中,社會(huì )對電子元件尺寸要求愈加苛刻,生產(chǎn)加工環(huán)境的潔凈度將直接影響產(chǎn)品的合格率,據統計約超過(guò)80%因為電學(xué)特性失效的電子芯片是由于生產(chǎn)環(huán)境中塵埃粒子的污染造成以半導體材料硅片為例,空氣的塵埃粒子能引起芯片電路元件開(kāi)路或者短路。而在醫療衛生領(lǐng)域,藥品生產(chǎn)過(guò)程需要盡可能避免塵埃粒子、微生物等顆粒的污染。
塵埃粒子計數器是一種在潔凈領(lǐng)域應用廣泛的重要儀器,主要用于評定潔凈室潔凈度等級,還可用來(lái)檢測過(guò)濾器的過(guò)濾效率、潔凈織物的發(fā)塵量。使用的行業(yè)包含電子廠(chǎng)、藥廠(chǎng)、醫療器械廠(chǎng)以及檢測實(shí)驗室等等。是利用光的散射原理對空氣中的塵埃粒子數目和粒徑進(jìn)行計量,工作原理:來(lái)自光源的光線(xiàn)被透視鏡組聚焦于檢測區域,塵埃粒子計數器通過(guò)采樣泵使采樣空氣通過(guò)該區域。當一個(gè)塵埃粒子(簡(jiǎn)稱(chēng)粒子)通過(guò)時(shí),便把入射光散射一次,產(chǎn)生一個(gè)光脈沖信號,經(jīng)過(guò)放大、甄別,篩選出需要的信號,再通過(guò)計數系統顯示出來(lái),電脈沖信號的高度反映粒子的大小,信號的數量反映了粒子的個(gè)數。主要關(guān)注的技術(shù)指標就是粒子的大小和個(gè)數。
塵埃粒子計數器是應用Mie氏散射原理測量流體中單分散塵埃粒子的散射光強度以判斷粒子粒徑的精密計數儀器。以規定的流量從待測樣品中進(jìn)行采樣,采樣氣流的粒子在通過(guò)激光均勻照明的光敏感區域時(shí),塵埃粒子產(chǎn)生散射光,散射光收集系統把一定范圍內的散射光光通量收集起來(lái)并由光電傳感器轉換為脈沖電壓信號。
脈沖信號的幅度和粒子粒徑的大小成正比,可采用電壓幅度甄別器來(lái)甄別脈沖信號電壓的幅值,再送出數據進(jìn)行處理。由于微米量級的粒子散射光強度很弱,需將信號前置放大為幅值足夠的電脈沖信號,再進(jìn)行信號非線(xiàn)性放大處理。然后根據電脈沖幅值的大小甄別以送入不同粒徑檔通道計數,在顯示器顯示一個(gè)計數周期內各個(gè)計數檔的粒子數目。